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新闻动态 NEWS
爱发科NLD-5700
添加时间:2024-04-24
对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的量产用干法刻蚀装置。(此爱发科独创的NLD技术设备可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子)
产品特性
在洁净房内作业可扩张为双腔。(可选配腔室:NLD、有磁场ICP、CCP或者去胶室)
NLD为时间空间可控的等离子,因此设备干法清洁容易
腔体维护简便
从掩模刻蚀到石英、玻璃刻蚀,可提供各类工艺解决方案
专门的半导体技术研究所会提供万全的工艺支持体制
产品应用
光学器件(光衍射格子、変调器、光开关等等)
凹凸型微透镜
流体路径作成或光子学结晶
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