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新闻动态 NEWS
德国海德堡无掩膜激光直写光刻机MLA300
添加时间:2024-04-22
MLA300是无掩模直写的工业生产版本,能成为研发应用,快速生产以及中小产业量产的标准。 MLA300特色以高生产吞吐量和高可用性,实现2 µm线条和空间的高分辨率。它具有操作晶圆机械手和装载端口的自动化功能,以及针对生产环境设计专门的软件,提供简易操作的自动化工作流程。
同时,也具有光刻直写设备的优点:屏除掩模板采购及处理,清洁和储存的相关开销和费用。
无掩模直写对准技术是使用一种空间光调制器,本质上类似于动态掩模。它灵敏侦测基板上最具挑战性的结构,对每个晶圆进行图案校正(例如,对变形的或工艺变化的产生反应),并采用自动聚焦来跟踪基板的翘曲或起皱。全面性的曝光模块可以选择波长(375 nm或405 nm),依照不同结果作选项;MLA300也可选择安装多组曝光模块,提高吞吐量。
在全球半导体产业中,MLA300运用在IC传感器,微机电设备(MEMS),分立电子组件,仿真和数字IC,集成电路(ASIC),电源电子,OLED显示器以及封装应用的生产领域中都有优秀的表现。