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新闻动态 NEWS
纳米压印
添加时间:2018-05-30
什么是纳米压印
纳米压印光刻 (NIL) 是一种制作纳米级图案的微纳加工工艺,是加工聚合物结构最常用的方法。拥有成本低、工期短、产量高、分辨率高等优点。
成熟且常用的纳米压印技术工艺主要有:纳米热压印(T-NIL) 技术、紫外光固化压印( UV-NIL) 技术、微接触印刷( μCP)。
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