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镀膜工艺
添加时间:2018-05-30
什么是镀膜
薄膜沉积(镀膜)是在基底材料上形成和沉积薄膜涂层的过程,在基片上沉积各种材料的薄膜是微纳加工的重要手段之一,薄膜具有许多不同的特性,可用来改变或改善基材性能的某些要素。例如,透明,耐用且耐刮擦;增加或减少电导率或信号传输等。薄膜沉积厚度范围从纳米级到微米级。
常用的薄膜沉积工艺是物理气相沉积(PVD)与化学气相沉积(CVD)。