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新闻动态 NEWS
刻蚀加工
添加时间:2018-05-30
什么是刻蚀:
刻蚀简单点理解就是光刻腐蚀,是和光刻相关的图形化处理工艺,结合化学、物理、化学物理等方法有选择的去除(光刻胶)开口下方的材料,这些材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶等。刻蚀也就是把光刻胶等材料当作掩蔽层,采用物理/化学等方法去掉下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方,进一步获取到下层材料上与掩膜板图形对应的图形。